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石墨煅燒爐

產品特點
該設備主要用于多晶硅前處理工序,在高溫真空環境下,對石墨電極、石墨基座、石墨卡瓣等進行煅燒,使石墨部件經酸洗、高溫烘干后仍殘余的水氣和氯化鹽等經高溫真空煅燒后排出爐外,實現提供高純潔凈石墨部件的目的。性能特點1.裝出料方式:頂部裝出料、底部裝出料。2.工作方式為周期作業式;可對石墨、陶瓷等材料在高溫、高真空條件下進行煅燒處理,也可在充入保護氣氛情況下煅燒;設備發熱體采用高純石墨碳棒,保溫層采用復合型石墨碳氈,在使用過程中揮發量少,壽命長、隔熱性好。3.設備占地小,生產效率高,平均能耗低。4.采用觸摸屏、PLC控制,配合儀表及傳感器可實現全自動運行(保留手動模式),可實時監控。5.設有多重安全防護措施,通過溫度、壓力計、安全閥等裝置和連鎖保護程序,使設備具備在發生超溫、超壓、冷卻水欠壓、過流、短路等故障時能夠及時發出聲光報警,并自動啟動保護程序,保障設備和人員安全。性能參數型號VGBD-800VGBD-1000額定溫度1600℃1600℃*高溫度2000℃2000℃控溫精度±1℃±1℃爐溫均勻性±10℃±10℃工作區尺寸φ800×800φ1000×600冷態真空度6.67×10-3Pa6.67×10-3Pa壓升率1Pa/h1Pa/h額定功率400KW400KW電源380V 50HZ380V 50HZ保護氣體氬氣氬氣

產品概述

該設備主要用于多晶硅前處理工序,在高溫真空環境下,對石墨電極、石墨基座、石墨卡瓣等進行煅燒,使石墨部件經酸洗、高溫烘干后仍殘余的水氣和氯化鹽等經高溫真空煅燒后排出爐外,實現提供高純潔凈石墨部件的目的。

性能特點

1.裝出料方式:頂部裝出料、底部裝出料。

2.工作方式為周期作業式;可對石墨、陶瓷等材料在高溫、高真空條件下進行煅燒處理,也可在充入保護氣氛情況下煅燒;設備發熱體采用高純石墨碳棒,保溫層采用復合型石墨碳氈,在使用過程中揮發量少,壽命長、隔熱性好。

3.設備占地小,生產效率高,平均能耗低。

4.采用觸摸屏、PLC控制,配合儀表及傳感器可實現全自動運行(保留手動模式),可實時監控。

5.設有多重安全防護措施,通過溫度、壓力計、安全閥等裝置和連鎖保護程序,使設備具備在發生超溫、超壓、冷卻水欠壓、過流、短路等故障時能夠及時發出聲光報警,并自動啟動保護程序,保障設備和人員安全。

性能參數

型號VGBD-800VGBD-1000
額定溫度16001600
*高溫度20002000
控溫精度±1±1
爐溫均勻性±10±10
工作區尺寸φ800×800φ1000×600
冷態真空度6.67×10-3Pa6.67×10-3Pa
壓升率1Pa/h1Pa/h
額定功率400KW400KW
電源380V 50HZ380V 50HZ
保護氣體氬氣氬氣


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