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真空燒結爐使用時遇到這三種情況應立刻采取應急措施
發布時間:2022-11-17   瀏覽:70次

  真空燒結爐使用時遇到這三種情況應立刻采取應急措施

  真空燒結爐主要用于半導體元器材及電力整流器材的燒結工藝,可進行真空燒結,氣體保護燒結及慣例燒結,是半導體專用設備系列中一種新穎的工藝裝備,它規劃構思新穎,操作便利,結構緊湊,在一臺設備上可完結多個工藝流程。亦可用于其他領域內的真空熱處理,真空釬焊等工藝。真空燒結爐使用時遇到這三種情況應立刻采取應急措施:

真空燒結爐

  一、停電

  1、停電時,假如斷水,應立即接通備用的冷卻水,接通水源。

  2、假如在非升溫、加熱和冷卻時,能夠趕快康復時,重新啟動設備,繼續運轉如需求較長時刻,則將設備保持原狀。

  3、假如正在加熱和冷卻時,能夠趕快康復時,重新啟動設備,假如需求較長時刻時,則保持原狀,讓設備自然冷卻下來。

  二、加熱電源掉電

  1、水壓低,當水壓低于0.15MPa,壓力表報警。

  2、接地毛病。

  3、真空放電,水冷電極接頭與加熱器銜接處必須銜接牢固,與反射屏絕緣要好。

  4、若爐內壓力為13.3-66.5Pa時(此真空度容易發生放電)。電源呈現毛病,掉電的原因能夠以為因為電介質擊穿而引起的放電。

  三、充氣氣體停止

  1、抽真空開端前,氣體充入時刻長或者無法充入時,請承認氣體管路是否被堵塞。

  2、如氣體管路沒問題,檢查電磁閥及氣體充氣閥的動作,為了安全與其相關聯的設備要悉數停止后再進行檢查。

  3、向真空室內充氣不能停止的情況下,泄壓閥動作如泄壓閥動作時,要封閉氣體供應閥及配管在內的一切氣體系統。

  4、承認氣體充氣配管是否有漏氣的地方,如有會影響制品質量。


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