产品介绍

CVI气相沉积炉

• 主要内容：

  

  

  

  气相沉积炉（CVI/CVD沉积炉）

  概述：

  本炉是在真空氛围中，以C/C复合材料气相致密化处理为目的，通过电阻加热器达到所需温度，使沉积气体裂解，从而沉积到材料表面上形成致密、性能高的复合材料的真空设备。

  性能特点：

     1.通过PID调节方式实现炉内温度的*控制；

     2.独立的分区加热控制，既能保证绝缘不易破坏，又方便加热器的维修更换；

     3.采用德国进口的真空测量设备，可准确有效的避免炉内气氛对测量精度的影响；

     4.水、气、电综合故障声光报警装置，保证系统运行平稳、安全；

   

  主要技术参数：

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  参数	CVI	CVD
  *设计测量温度	1200℃	1500℃
  常用工作温度	1050℃	1200℃
  满功率升温时间	～1000℃≤ 3h	RT～1000℃≤5h
  温度均匀性（1000℃时）	≤±10℃	≤±10℃
  冷态空炉极限真空度	≤10Pa	≤10Pa
  压升率	≤5Pa/h	≤5Pa/h
  控温精度	≤±1℃	≤±1℃
  动力电源	3Φ380 V     50 Hz       850 KVA	3Φ380V     50Hz      1000KVA
  工作电源	Umax=40 V               Imax=25000 A	Umax=7～70v