CVI气相沉积炉
主要内容:
气相沉积炉(CVI/CVD沉积炉)
概述:
本炉是在真空氛围中,以C/C复合材料气相致密化处理为目的,通过电阻加热器达到所需温度,使沉积气体裂解,从而沉积到材料表面上形成致密、性能高的复合材料的真空设备。
性能特点:
1.通过PID调节方式实现炉内温度的*控制;
2.独立的分区加热控制,既能保证绝缘不易破坏,又方便加热器的维修更换;
3.采用德国进口的真空测量设备,可准确有效的避免炉内气氛对测量精度的影响;
4.水、气、电综合故障声光报警装置,保证系统运行平稳、安全;
主要技术参数:
?
参数 | CVI | CVD |
*设计测量温度 | 1200℃ | 1500℃ |
常用工作温度 | 1050℃ | 1200℃ |
满功率升温时间 | ~1000℃≤ 3h | RT~1000℃≤5h |
温度均匀性(1000℃时) | ≤±10℃ | ≤±10℃ |
冷态空炉极限真空度 | ≤10Pa | ≤10Pa |
压升率 | ≤5Pa/h | ≤5Pa/h |
控温精度 | ≤±1℃ | ≤±1℃ |
动力电源 | 3Φ380 V 50 Hz 850 KVA | 3Φ380V 50Hz 1000KVA |
工作电源 | Umax=40 V Imax=25000 A | Umax=7~70v |